使用中如何始終保持差壓式流量控制器的精度?
發布時間:2022-05-24 點擊次數:73次
差壓式流量控制器是精確測量氣體流量的儀器,其測量值不會因溫度或壓力波動而導致不準確,不需要溫度和壓力補償。氣體流量調節閥設置在質量流量控制器(MFC)中,該閥門可以調節通過控制器的流量,從零到滿量程。在工作過程中,控制器的進出口之間會產生壓降,即壓差。流量控制器的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa。如果壓差低于低值(0.1MPa),可能達不到滿量程值;若高于(0.3MPa),可關閉時流量不小于2%F.S。用戶使用流量控制器時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,流量控制器進出口端的壓差均應保持在要求的壓差范圍內,氣壓相對穩定。所以如果流量控制器的流量偏差精度不高,是很嚴重的事情。因此,當偏差精度不高時,需要及時解決。那么使用中如何始終保持差壓式流量控制器的精度?
1、精度低、偏差小的檢驗方法:
?。?)看看零點是否有漂移。接通電源,流量控制器的信號為0時,測量輸出信號值,查看功率控制器的反饋信號;
?。?)看看氣體是否純凈。如果氣路被污染,流量肯定會受到影響。此時可使用高純N2進行多次清洗;
?。?)檢查前端壓力是否發展到校準壓力。如果流量控制器壓力不夠,將達不到標定范圍,或考慮使用低壓損失流量控制器。
2、差壓式流量控制器使用注意事項:
?。?)根據不同的介質、流量和工作場所選擇合適的流量計/控制器類型;
?。?)根據不同類型的流量計選擇合理的安裝方式;
?。?)定期維護,定期檢查流量計的工作狀態和顯示器的連接情況;
?。?)定期校準質量流量計/控制器。