差壓式流量控制器是精確測量氣體流量的儀器，其測量值不會因溫度或壓力波動而導致不準確，不需要溫度和壓力補償。氣體流量調節閥設置在質量流量控制器（MFC）中，該閥門可以調節通過控制器的流量，從零到滿量程。在工作過程中，控制器的進出口之間會產生壓降，即壓差。流量控制器的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa。如果壓差低于低值（0.1MPa），可能達不到滿量程值；若高于（0.3MPa），可關閉時流量不小于2%F.S。用戶使用流量控制器時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，流量控制器進出口端的壓差均應保持在要求的壓差范圍內，氣壓相對穩定。所以如果流量控制器的流量偏差精度不高，是很嚴重的事情。因此，當偏差精度不高時，需要及時解決。那么使用中如何始終保持差壓式流量控制器的精度？

　　

　　1、精度低、偏差小的檢驗方法：

　　

　?。?）看看零點是否有漂移。接通電源，流量控制器的信號為0時，測量輸出信號值，查看功率控制器的反饋信號；

　　

　?。?）看看氣體是否純凈。如果氣路被污染，流量肯定會受到影響。此時可使用高純N2進行多次清洗；

　　

　?。?）檢查前端壓力是否發展到校準壓力。如果流量控制器壓力不夠，將達不到標定范圍，或考慮使用低壓損失流量控制器。

　　

　　2、差壓式流量控制器使用注意事項：

　　

　?。?）根據不同的介質、流量和工作場所選擇合適的流量計/控制器類型；

　　

　?。?）根據不同類型的流量計選擇合理的安裝方式；

　　

　?。?）定期維護，定期檢查流量計的工作狀態和顯示器的連接情況；

　　

　?。?）定期校準質量流量計/控制器。